Ultrahochvakuum-Apparatur „Cluster-Tool“
Kernstück des Kompetenzzentrums Analytik im Laborbereich des InnovationLab ist eine Ultrahochvakuum-Apparatur (Cluster-Tool), in der Schichtsysteme mit aufgedampften organischen Dünnfilmen ohne problematische Vakuumunterbrechungen und kritische Probentransfers studiert werden können. Es ist geplant, dass die Apparatur Komponenten zur Probenpräparation via thermischer Verdampfung und Analytikmethoden für die Charakterisierung dieser Proben bereitstellt. Bei den Analytikmethoden handelt es sich um Methoden der Photoelektronenspektroskopie (XPS, UPS, IPES), Rastersondenmethoden (AFM, SKP), Rasterelektronen-Mikroskopie (REM) und Infrarotspektroskopie (IR). Nach Bedarf kann das Clustertool an freien Ports um ergänzende Analytik- bzw. Präparationsverfahren erweitert werden.











