F&E Equipment Park

Die gemeinsame Forschungs- und Entwicklungsplattform InnovationLab bietet allen Partnern 700m² Reinraumlabore und 470m² Laboratorien für chemische Aufbereitung und elektrische Charakterisierung, ausgestattet mit modernsten Geräten.

Ausstattung

  • Klein- und Mittelformatdrucker bis DIN A4 (210x297 mm)
  • Große Rolle-zu-Rolle-Druckmaschine (330 mm Breite)
  • Fotolithografie
  • Umfassender Gerätepool zur Gerätevorbereitung und -charakterisierung

Analytik

Clustertool = Ultrahochvakuumsystem zur Untersuchung von organischen Dünnschichtsystemen ohne Vakuumunterbrechung und kritische Probentransfers.

Clustertool

Probenvorbereitung

  • Vakuumverdampfung
  • Lösungsverarbeitung (Spin-Coater)
  • Handschuhfach für trockenen Stickstoff

Probencharakterisierung:

  • Auriga® CrossBeam® - Workstation (SEM, FIB, GIS)
  • Physikalische Elektronik PHI 5000 VersaProbe (XPS, UPS, IPES)
  • Bruker Vertex 80v  (FTIR-Spektrometer)
  • DME BRR Rastersondenmikroskopie (AFM, STM, SKP)

Gelbraum nach ISO 5

Süss MicroTec Mask Aligner

  • Maskenrahmen: 7 ”Masken & 5” Masken
  • Entworfen für bis zu 150 mm Wafergröße
  • Einsatz für MEMS-Anwendungen, Herstellung von optischen Bauteilen und Verbindungshalbleitern

Nassbank

  • 4x beheiztes Ultraschallbad (3x geeignet für brennbare Flüssigkeiten)
  • 3x QDR-Spülen (Quick Dump Rinse)
  • Voll ausgestattet mit Filter-Lüfter-Einheiten

Süss MicroTec Spin Coater RC16:

  • Für bis zu 150mm Waferprobengröße (F&E-Arbeiten bis zur Kleinserienfertigung)

 

Drucken

Im Kompetenzzentrum Drucken werden neue Materialkonzepte und -verfahren entwickelt. Die verfügbaren Druckgeräte eignen sich besonders zum Testen neuer Materialien und zum Hochskalieren von Prozessen auf den Produktionsmaßstab.

Druckphase 1: “Proof of Concept”

  • Substratgröße: bis zu 50mm
  • kleine Flüssigkeitsmengen

 

Druckphase 2: “Prototyping”

  • Substratgröße: bis zu 150mm
  • Flüssigkeitsmengen: 5-75ml

 

Druckphase 3: “Scale-up”

  • Bedrucken und Trocknen von ein- oder mehrschichtigen Funktionsmaterialsystemen
  • Produktionskapazitäten für große Stückzahlen
  • Substratgröße >DIN A4 (210x297mm)
  • Materialverbrauch ~200ml

PEP3 (basierend auf Gallus RCS 330)

  • Vorbehandlung
  • Druckverfahren: Flexo-, Tief-, Sieb- und Offsetdruck
  • Optional: Inkjetdruck
  • Trocknung: UV, IR, Konvektion und aktive Kühlung